Ανιχνευτής διαρροής ήλίου ξηρής αντλίας για ανίχνευση διαρροής κυψελών SFJ-231D
Τεχνικές παραμέτρους ανιχνευτή διαρροής ήλίου SFJ-231D
| Ονομασία προϊόντος |
Ανιχνευτής διαρροής ηλίου SFJ-231D |
| Ελάχιστη ανιχνεύσιμη συχνότητα διαρροής ((Pa·m3/s) / κατάσταση κενού |
5.0*10-13Παμ3/s |
| Ελάχιστο ανιχνεύσιμο ποσοστό διαρροής ((Pa·m3/s) / λειτουργία σνιφέρ |
5.0*10-9Παμ3/s |
| Μέγιστη επιτρεπόμενη πίεση ανίχνευσης διαρροής (Pa) |
1500 |
| Χρόνος απόκρισης |
< 1s |
| Ώρα εκκίνησης |
≤ 2 λεπτά |
| Ανιχνεύσιμη ποιότητα |
2, 3,4 ((H2,He3, He4) |
| Ανθρώπινη διεπαφή |
Εικονική οθόνη LCD 7 ιντσών |
| Πηγή ιόντων |
2 τεμάχια, ιρίδιο επικαλυμμένο με οξείδιο του ιτρίου, αυτόματη στροφή |
| Διασύνδεση Εισόδου/Εξόδου |
8 εισροές και 8 εξόδους |
| Διασύνδεση επικοινωνίας |
RS232/485, USB*2 |
| Διασύνδεση MES |
πρότυπο |
| Δέσμευση ανίχνευσης διαρροής |
DN25KF |
| Ηλεκτρική τροφοδοσία |
AC220V, 50Hz/60Hz |
| Θερμοκρασία λειτουργίας |
0~40°C |
| Γλώσσα |
Αγγλικά |
| Εμφάνιση του ποσοστού διαρροής |
Σχήμα, διάγραμμα γραμμών, διάγραμμα καμπυλών |
| Διάμετρος |
645*678*965mm |
Εφαρμογή του ανιχνευτή διαρροής ήλίου SFJ-231Dγια το Wafer
Στην τεχνολογία ανίχνευσης διαρροών με φασματομετρία μάζας ήλίου, η εφαρμογή ξηρών αντλιών (απόλυτες ελαίου ξηρές αντλίες κενού) εξαρτάται κυρίως από τις συνθήκες εργασίας του εξοπλισμού που πρόκειται να επιθεωρηθεί,τις απαιτήσεις καθαριότητας και τις τεχνικές απαιτήσεις των ανιχνευτών διαρροών φασματομετρίας μάζας ήλίου (e.g. Wayeal SFJ-231D).
Μέθοδος ανίχνευσης: Μέθοδος ψεκασμού ήλίου με κενό (τρόπος υψηλής ευαισθησίας)
1: Εκκένωση συστήματος και βαθμονόμηση βασικής γραμμής
Εκκενώνονται σε βάσιμη πίεση: θάλαμος χαρακτικής: ≤0,1Pa (συνδυασμός ξηρής αντλίας + μοριακής αντλίας) · θάλαμος CVD/PVD: ≤10−3 Pa (υψηλότερες απαιτήσεις για εξοπλισμό επικάλυψης).
Κλιματισμός ανιχνευτή διαρροής: Χρησιμοποιήστε μια τυποποιημένη αναφορά διαρροής (π.χ. 1×10−7 Pa·m3/s) για να βαθμολογήσετε το SFJ-231D και να επαληθεύσετε τη γραμμικότητα απόκρισης του οργάνου.
Βήμα 2: Ανίχνευση ψεκασμού ήλίου
Πεδίο ανίχνευσης: αυλακώσεις δακτυλίων O, τρύπες βρόγχων, μεταλλικές σφραγίδες VCR/VCO, συγκόλλησεις συγκόλλησης, κεραμικά μονωτικά, σφραγίδες χαλκού, Οι διασυνδέσεις του Μπέλουζ.
Λειτουργία ψεκασμού ήλίου:
Χρησιμοποιήστε ένα χειροκίνητο όπλο ψεκασμού ήλίου (με ακροφύσιο λεπτής ρύθμισης 0,1 mm) σε απόσταση 3-5 mm από το σημείο ανίχνευσης.Ρυθμίστε την πίεση του ηλίου σε 0..2-0.3MPa για την αποφυγή διαταραχών της ροής αέρα.
Βήμα 3: Καθορισμός σημείου διαρροής και καταγραφή
Ποσοστό διαρροής: Επιτρεπόμενος ρυθμός διαρροής εξοπλισμού ημιαγωγών: Συνήθως ≤1×10−9 Pa·m3/s (ανά τα πρότυπα SEMI).
Καταγραφή δεδομένων: Όταν το SFJ-231D εμφανίζει μέγιστη συχνότητα διαρροής, σημειώστε το σημείο διαρροής με στυλό επισημαντή.
Αποθήκευση καμπυλών του ποσοστού διαρροής και δεδομένων τοποθεσίας (εξαγωγή μέσω USB).
Βήμα 4: Επανεξέταση και επαλήθευση
Για να επιβεβαιωθεί η επαναληψιμότητα, πραγματοποιείται δεύτερη ψεκασμός με ήλιο στις εντοπισμένες διαρροές.
Μετά την επισκευή των μεγάλων διαρροών, επαναφέρετε την εκκένωση στην πίεση βάσης και διεξάγετε πλήρη επανεξέταση.
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
