Σύστημα ανίχνευσης διαρροής ήλίου σε κενό θάλαμο για ημιαγωγικά εξαρτήματα/σφραγίδες

Σύστημα ανιχνευτή διαρροής ηλίου σε θάλαμο κενού για εξαρτήματα/στεγανοποιήσεις ημιαγωγών

Εισαγωγή του Συστήματος Ανιχνευτή Διαρροής Ηλίου

Χρησιμοποιείται για την ανίχνευση διαρροών ηλεκτρονικών εξαρτημάτων/στεγανοποιήσεων. Η λύση αποτελείται από μια δεξαμενή ηλίου υπό πίεση, μια δεξαμενή ανίχνευσης διαρροών και έναν ανιχνευτή διαρροών φασματόμετρου μάζας ηλίου.

Χαρακτηριστικά του Συστήματος Ανιχνευτή Διαρροής Ηλίου

1. Ο μοναδικός σχεδιασμός κυκλώματος αερίου βελτιώνει την ταχύτητα άντλησης του ηλίου, συντομεύει τον χρόνο υποβάθρου καθαρισμού ηλίου και αποτρέπει αποτελεσματικά τη ρύπανση από ήλιο.

2. Ο ελάχιστος ανιχνεύσιμος ρυθμός διαρροής είναι χαμηλός, η ευαισθησία είναι υψηλή και το εύρος ανίχνευσης μπορεί να φτάσει το Επίπεδο 12.

3. Έξυπνες λειτουργίες ένδειξης και συναγερμού βλαβών.

Σύνθεση του Συστήματος Ανιχνευτή Διαρροής Ηλίου

Η λύση αποτελείται από μια δεξαμενή ηλίου υπό πίεση, μια δεξαμενή ανίχνευσης διαρροών και έναν ανιχνευτή διαρροών φασματόμετρου μάζας ηλίου. Τα ηλεκτρονικά εξαρτήματα ή οι στεγανοποιήσεις τοποθετούνται στη δεξαμενή ηλίου υπό πίεση, το αέριο ήλιο της καθορισμένης συγκέντρωσης

Εφαρμογή Προϊόντος

Βιομηχανία ημιαγωγών, εξαρτήματα/στεγανοποιήσεις