Μηχανή ανίχνευσης διαρροής ήλίου κενού με πιστοποίηση CE για τη βιομηχανία ημιαγωγών

Ανιχνευτής διαρροής ηλίου SFJ-16M

Δείκτες απόδοσης






 

Ελάχιστος ανιχνεύσιμος ρυθμός διαρροής
(Pa·m³/s)/ λειτουργία κενού

Λειτουργία κενού (ULTRA):5.0×10^-13 Pa·m³/s (ταχύτητα άντλησης ηλίου >5 l/s)
Λειτουργία κενού (FINE):1.0×10^-12 Pa·m³/s (ταχύτητα άντλησης ηλίου 2.5L/s)

Ελάχιστος ανιχνεύσιμος ρυθμός διαρροής
(Pa·m3/s)/ λειτουργία ανιχνευτή

5.0×10^-8 Pa·m³/s

Χρόνος απόκρισης(s)

<1

Χρόνος εκκίνησης(min)

≤95s

Εύρος ανίχνευσης διαρροής
(Pa·m³/s)

5.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Εύρος εμφάνισης ρυθμού διαρροής
(Pa·m³/s)

1.0×10^-13~1.0×10^-3 Pa·m³/s

Μέγιστη επιτρεπόμενη πίεση ανίχνευσης διαρροής(Pa)

1500

Ανιχνεύσιμη ποιότητα

2,3,4(H2 , He3, He4)

Βασική διαμόρφωση










 

Διεπαφή ανθρώπου-μηχανής

Έγχρωμη οθόνη αφής LCD 5"

Πηγή ιόντων

2 τεμ., επιστρωμένο με ιρίδιο οξείδιο του υττρίου, αυτόματη εναλλαγή

Διεπαφή εισόδου/εξόδου I/O

Οκτώ είσοδοι και οκτώ έξοδοι

Διεπαφή επικοινωνίας

RS232/485,LAN

Διεπαφή MES

Στάνταρ

Φυσικό μέγεθος του οργάνου
(W)×(D)×(H),mm

592 * 498 * 370mm

Προδιαγραφές θύρας ανίχνευσης διαρροής

DN16 KF/2pcs

Τροφοδοσία

DC24V

Θερμοκρασία λειτουργίας

0-40ºC

Ισχύς

240W

Γλώσσα εμφάνισης

Κινέζικα και Αγγλικά

Εμφάνιση ρυθμού διαρροής

Σχήμα, ράβδος, γράφημα καμπύλης